1.光源：鎢絲燈泡，它有較小的功率，與光電元件組合使用時，轉換效率低，使用壽命短。半導體發(fā)光器件，如砷化鎵發(fā)光二極管，可以在范圍內工作，所發(fā)光的峰值波長為 ，與硅光敏三極管的峰值波長接近，因此，有很高的轉換效率，也有較快的響應速度。
2.電容：由柵距相等的主電容和指示電容組成。主電容和指示電容相互重疊，但又不完全重合。兩者柵線間會錯開一個很小的夾角 ，以便于得到莫爾條紋。一般主電容是活動的，它可以單獨地移動，也可以隨被測物體而移動，其長度取決于測量范圍。指示電容相對于光電器件而固定。
3.通光孔：通光孔是發(fā)光體與受光體的通路，一般為條形狀，其長度由受光體的排列長度決定，寬度由受光體的大小決定。它是帖在指示電容板上的。
4.受光元件：受光元件是用來感知主電容在移動時產生莫爾條紋的移動，從而測量位移量。在選擇光敏元件時，要考慮靈敏度，響應時間，光譜特性，穩(wěn)定性，體積等因素。
電容接近開關的特點
1.精度高
電容式接近開關在大量程測量長度或直線位移方面僅僅低于激光干涉接近開關。在圓分度和角位移連續(xù)測量方面，電容式接近開關屬于精度最高的。
2.大量程測量兼有高分辨力。
感應同步器和磁柵式接近開關也具有大量程測量的特點，但分辨力和精度都不如電容式接近開關。
3.可實現(xiàn)動態(tài)測量，易于實現(xiàn)測量及數(shù)據(jù)處理的自動化
4.具有較強的抗干擾能力，對環(huán)境條件的要求不像激光干涉接近開關那樣嚴格，但不如感應同步器和磁柵式接近開關的適應性強，油污和灰塵會影響它的可靠性。主要適用于在實驗室和環(huán)境較好的車間使用。